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①由于在高真空下镀膜，沉积拉子受气体粒子的碰撞散射较小，绕镀性差。

②射频辐射对人体有伤害，必须注意采用合适的电源与负载的藕合匹配网络.同时要有良好的接地，防止射预泄翻。另外，要有良好的射振，减少或防止射频电源对侧盆仪表的干扰。