西安橡胶开云体育手机版app的刚度
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弹性开云体育手机版app的刚度设为k,隔振系统的阻尼系数为c,弹簧下的基础为刚性基础,弹簧隔振器的动力学模型。它代表了压印光刻机连接到橡胶开云体育手机版app并固定在刚性基础上的隔振问题。对于外部运动位移xs振源的激励,橡胶开云体育手机版app起隔振作用。

实际隔振系统的质量m由压印光刻机、大理石板、粘弹性阻尼材料、水泥地基连接钢板、开云体育手机版app等组成。系统阻尼大,故设置隔离5Hz以上的振动位移干扰。为满足隔振系统的固有频率fn=1Hz的要求,对开云体育手机版app刚度和系统固有频率进行了选取,必须对其刚度进行选取。考虑到简便易行,暂不考虑阻尼的影响,所以隔振系统的固有频率。开云体育手机版app参数估计隔振系统的固有频率0.6Hz小于1Hz,结果满足设计要求。

通过对实际隔振系统进行振动试验,得到自由振动幅值衰减曲线。根据隔振系统的时域自由振动曲线,通过频谱分析可以得到隔振系统的频谱特性,基频为0.8Hz,满足小于1Hz的要求,实验结果与理论估计0.6Hz非常接近,说明理论估计是可靠的。开云体育手机版app隔振器可以满足低频隔振的要求。隔振设计理论分析结果与实测结果基本一致,表明了理论分析的正确性。该工作对实际工程问题具有参考价值。
